Statek开发高性能的石英晶体谐振器,会成为业界的宠儿?

Statek晶振公司自成立以来,凭借着优越的性能,超高的性能比赢得市场的欢迎度,创新的内部设计、生产和测试能力不仅使新产品的快速开发和验证成为可能，而且使低加速度灵敏度、高冲击、严格的校准公差、低老化、抗辐射、高度在越来越高的工作温度下稳定的频率。
1制造
一个典型的超小型AT空白大约3.50 mm × 0.63 mm。因为这个小尺寸，以获得可接受的生产产量的容差约为2 μ m必需的。虽然传统的处理技术无法满足这一点严格的公差要求，使光刻工艺能够维持尺寸公差优于1µm。光刻过程开始于抛光石英片(1″× 1″或以上)。这些晶圆被化学蚀刻成预定的频率，清洗，和用一层镀铬和金属的薄膜,用电子束真空沉积金系统。(其他金属，如铝或可以用银。)AT-strip模式为生成photo-lithographically使用面罩和双对准器，其中顶部与晶圆片底面对齐同时,暴露。水晶然后电极和探针垫图案由后续的照片掩蔽定义的一步。硅片是化学金属和石英蚀刻形成单独的atstrip。最后，顶部和底部安装衬垫通过孔径连接在一起掩蔽与金属薄膜沉积。一旦光刻的过程是完整的晶圆包含125个独立晶圆超微型at石英晶体谐振器。每个谐振器物理上与晶圆片相连的也带电的小石英片将谐振器连接到晶片。这允许电测试每个谐振器都还在晶圆上。